“林首席,一号光掩膜版已清洗完成!”
“二号光掩膜版也清洗完成!”
“报告林首席,经过反复确认,第一组光掩膜版表面未发现有灰尘遮挡,可以进行试生产了!”
“林首席,20纳米制程光刻机参数已调试完成,请指示!”
龙国魔都。
龙芯国际实验基地。
林天身披白大褂,坐在椅子上翘着二郎腿,他面前是一群正在忙碌的光刻工程师。
在他旁边,光刻领域院士冯承铭激动地搓了搓手,将自己姿态摆低道:“林首席,光掩膜版和光刻机都准备好了,您看我们是不是应该试着量产芯片了?”
他语气柔和,并不像是长辈对晚辈的那种柔和,而是学生面见尊师的语气。
谁也不知道这段时间,冯承铭与一众龙芯国际工程师到底经历了什么,居然会对一位二十出头的年轻人这般姿态。
林天掏出手机看了眼日期,喃喃自语道:“12月6号,不多不少,正好花了50天时间,今天那位荷兰工程师没有来吧?”
“曲老他们已经把他支开了。”
冯承铭快速回答。
荷兰工程师,买20纳米制程光刻机赠送的。
可别觉得荷兰asml公司好心,卖光刻机还附赠几个工程师,实则这些人是来监督机器运行的。
他们的工作内容就是什么也不用干,但龙芯国际要给他们发工资,而且他们还有锁设备的权限。
说直白点。
你花了钱,你还不能随便用,而且人家想让你停就停。
这种管理模式不止光刻机领域,高精度机床、重型机械、汽车生产设备等,原厂家都会配备几个白吃白喝的工程师。
他们就监督设备的使用,但凡移动了丁点位置,一些联网设备还具备自动上锁的功能,如果被锁,还需要求助“原厂工程师”才能解开设备锁。
想不被监控?
要么买落后版本的设备,要么直接就不买。
可龙国想发展、龙国本土企业想发展就不能不买,只能接受这样憋屈的管理模式。
因为这些荷兰工程师不懂光刻,这五十天龙芯国际工程师团队在捣鼓什么,他们完全不了解,也不想去了解。
荷兰asml公司派给他们的任务就两个,监控龙芯国际用20纳米制程光刻机运行,报告光刻机的生产任务内容。
这也就是说,龙芯国际生产什么类型的芯片,有什么新技术都逃不过西方的监控。
不过!值得一提的是,14纳米芯片生产不一定非要用20纳米制程光刻机,28纳米制程的光刻机照样可以生产。
这次使用20纳米制程光刻机,纯属林天想快点生产第一批14纳米轻舟处理器给陈星送过去,方便后续的新旗舰发布会召开。
现在已经12月6号了,距离12月12号仅剩6天时间,他必须抓紧时间生产,赶在9号前把轻舟处理器芯片送过去。
当听见已经支开今天的荷兰工程师,林天站起身扫视龙芯国际的工程师一圈说道:
“注意看,我只教一次,能学到多少,能掌握多少全看你们自己的天赋了。”
论天赋,这里的所有工程师都是天才,是龙国各个省份走出来的状元郎。
“好的林首席!”
“林首席我记性比较差,可以录像吗?”
“要是我们能掌握多重曝光技术的要点,那就相当于突破了理论7纳米级芯片工艺!”
“开始吧林首席!”
工程师们纷纷附和着。
五十天的时间,从默默无闻的黄毛小年轻,到如今龙芯国际的光刻名誉首席,虽然没有正式通告,但这已经是默认的事实了。
能让这么多天才,乃至院士都折服的林天只做了一件事,那就是流片时,他不仅操作行云流水,理论知识更是扎实,可以做到全方面解答遇到的问题,光掩膜版也在他带领下顺利完成,整个过程没有半点的失误。
冯承铭向前一步,看向一众龙芯国际工程师道:“都认真看,林首席不可能一直在这里教我们,听懂了吗?”
“懂了冯首席。”
“听明白了。”
“知道了冯首席。”
龙芯国际的工程师纷纷应答,他们现在都恨不得在自己眼睛装上摄像头。
“走吧,赶时间。”林天往更衣室走去。
进入光刻机区域,必须穿着防尘服,任何一丝灰尘,都有可能影响最终生产。
几十位龙芯国际的工程师,紧随其后。
……
另一边。
龙芯国际总部会谈室。
顶着两个大眼袋,双鬓已经灰白的曲程倒着茶水,笑呵呵道:“拉比兹先生,试试我托人带来的正宗老班章。”
在他的身侧,高永明打着助攻道:“曲老真是大气啊,这块老班章收藏有十年了吧?”
曲程瞥了他一眼,淡淡说道:“正好十年。”
坐在对面,金发碧眼,身形消瘦的拉比兹一惊,用蹩脚的中文感谢道:“虽然我不懂茶叶,但收藏了十年,那这个肯定是好东西。”
“那是自然。”
曲程面无表情,淡淡回复。
拉比兹听后,也是拿起茶杯细细品鉴道:“嗯…好浓的茶香,而且喝下去以后还有股甜味,这就是你们龙国人说的回甘是吗?”
“没错,这就是正宗老班章才有的回甘。”
曲程搭话道。
坐在一侧的高永明嘴唇轻微蠕动,牙齿不断咬着内唇,用痛觉来消减笑意。
十年老班章?
怎么可能给你喝真的!
对于这位白吃白喝,负责监控他们使用光刻机的“活体监控摄像头”,不给你喝毒药就不错了,还给你喝十年老班章。
不过让高永明没想到的是,他曲程一把年纪了,居然这么损,戏还演的那么好。
二十块买的工业茶,硬是说成正宗老班章。
“啊!”
在喝了第二杯后,拉比兹也开门见山道:“两位找我,应该不只是喝茶吧?”
“对,找你订购光刻机。”曲程不紧不慢说道。
高永明见进入正题,也说出目的道:“我们想再订一台20纳米制程的光刻机。”
“噢?你要扩大生产?”
拉比兹看向高永明询问道。
高永明点了点头,想着怎么拖延时间道:“想试试接20纳米的订单,哦对了,14纳米的euv光刻机你看能……”
话音未落,拉比兹打断道:“抱歉高总,euv光刻机可不是我能够说了算的,你们自己也很清楚,到底是谁在限制你们。”
“说得也对,我们还是继续谈20纳米制程的duv光刻机吧。”曲程打了个圆场道。
两人的任务很简单,就是拖延足够多的时间。
等另一位荷兰工程师来交班,估计就差不多了,现在就拼命拖延就完事了。
……
芯片生产车间。
20纳米制程光刻机内部。
第一块光掩膜版已经安装,光刻机镜头正射出193纳米波长的深紫外光光源,每次曝光,都会在底部的晶圆片上刻出设计好的芯片电路图案。
随着移动平台的不断移动,以及光刻机镜头的不断曝光,晶圆片被刻上了密密麻麻的芯片电路图,如果是生产20纳米芯片,现在就已经完成光刻,可以直接送交切割封装检测了。
但用duv光刻机生产14纳米芯片,一次曝光根本不能满足需求,需要二次曝光。
“取出第一块光掩膜版,安装第二块光掩膜版。”林天目光看向冯承铭说道。
冯承铭立马照做。
当第二块光掩膜版放入光刻机镜头处,林天开始亲自校准,并讲解道:“听好了,多重曝光技术难的点在于晶圆对齐,如果两次的点位出现偏差,第二次曝光将会损坏第一次曝光留下的电路图案,因此要多加小心。”
在确认没问题以后,他看向冯承铭道:“二次涂抹光刻胶,进行二次曝光步骤。”
“明白了。”
冯承铭闻言照做。
“光刻胶要均匀分布,这点应该难不倒你们。”林天淡淡道。
在二次步骤准备好后,光刻机再次启动,开始在底部晶圆上进行二次曝光。
看似步骤简单,但其实任何微小的误差,都有可能导致整张晶圆报废。
一张晶圆报废,那就是十几万的损失。
因为一张12英寸的晶圆,也就是常说的硅片,它就能大概切出500枚芯片。
按照骁龙810处理器的市场价300元来算,损坏一张晶圆,就相当于损失了15万。
当然了。
14纳米的轻舟处理器会更贵!
随着光刻机启动,193纳米波长的深紫外光不断地曝光,底部的移动平台也不断移动,弥补第一次曝光电路图案的不足。
数分钟过去。
晶圆二次曝光结束。
等待片刻以后,林天戴上手套亲自取出晶圆,眯起眼睛仔细观察电路图案,大致看不出图案有重叠,但还需要进行测验。
“加急送去切割测验。”
冯承铭目光看向身旁的工程师,使了个眼色道:“小龙,你拿去切割测验。”
“我?”
那名工程师愣了愣。
他还没实操一遍呢,学不会多重曝光咋办?
冯承铭瞪了他一眼,像似在说你不去,难道要我去啊!
没办法。
那名工程师只好照做。
“好了,也给你们示范了,都自己试试,难度也就集中在晶圆对准上面。”
林天退后一步说道。
冯承铭做为龙芯国际首席,自然当仁不让道:“那我来试试。”
然而看似简单的步骤,却让这位院士几度折戟,对准的难度远比想象中难,出现些许偏差,直接损失一大半芯片。
“细心点,慢慢来。”
林天也不着急,反正浪费的不是他的钱。
在冯承铭还在摸索时,一位工程师上前套近乎道:“林首席,为什么你对准就没偏差,冯首席就……”
“呵!”
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